以原子级精度  释放金刚石潜能

Enhance Diamond’s Potential with Atomic Precision

产品和服务

Our Products and services Offerings

高能低温等离子体抛光设备

半导体制造:用于碳化硅衬底、氮化镓外延片、金刚石散热片等宽禁带材料的表面平坦化与缺陷修复
超硬工具加工:针对聚晶金刚石刀具、立方氮化硼刃具、精密模具等的刃口抛光与表面光洁度提升
光学与精密元件:适用于蓝宝石窗口、陶瓷基板、MEMS器件等高性能元件的高质量表面制备

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自中和射频离子源

等离子体:密度高,电离效率高,加工速率快
均匀性​:射频激发,等离子体空间分布更均匀
电荷积累​:主动中和,几乎无电荷积累​
工艺温度​:可实现真正的低温工艺
可控性​:参数独立可调,工艺窗口宽,重复性好

Coming soon…

等离子体仿真计算平台

分层架构:客户端、管理服务器(任务调度)、代理服务(分布式计算),支持多任务并行
模块化设计:提供预置模板,适配不同仿真场景(如有限元网格生成、边界条件设置、等离子体参数配置)
可视化与数据分析:支持场分布(离子密度、电势)、粒子轨迹、推力性能等结果的可视化输出

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